一：擴散泵真空機組概述：

擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽，擴散泵主體及擋板均有改進，使得在較低真空領域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統，可獲得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低氣壓(高真空)環境下工作的真空系統的配套設備。

擴散泵系列真空機組的特點是抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇；并可長時間穩定連續工作。擴散泵系列真空機組被廣泛地應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。

二：擴散泵真空機組啟動操作

　　1）系統啟動時，首先接通擴散泵的冷卻水，調整水溫繼電器的溫度設定值，然后開動機械泵進行粗抽。

　　2）啟動機械泵前，要檢查泵的油位是否合乎要求，高真空閥及前級閥是否關閉。打開粗抽閥，在中小型抽氣系統中，只需要簡單的粗抽管道。在某些特殊要求的大型真空室里，可采用多步程序進行粗抽：首先，可通過一個小直徑的孔或旁路管道對真空室進行粗抽，當壓力降到沒有紊流存在時，再打開主粗抽閥門。

　　3）當真空室內的壓力降到100Pa之后，可打開前級管道閥并給擴散泵加熱器通電。如果擴散泵已經處于真空封閉狀態，則可在步驟1） 中同時加熱擴散泵。當擴散泵剛開始通電加熱時，如果電源有調壓器時，開始可適當增加點電壓，但泵油接近于蒸發溫度時應把電壓調回到規定電壓，這樣可加快起動。但應注意時間過長會造成泵油裂化。

　　4）一般將系統粗抽到15~20Pa左右時，關閉粗抽閥，等擴散泵正常工作后（即油蒸汽射流正常噴射），打開高真空閥進行抽氣。

　　5）如果擴散泵正常工作一段時間后，被抽容器的真空度仍不提高，則說明系統漏氣率太大，應當關閉高真空閥，待系統漏率符合要求時再打開高真空閥進行抽氣。

系統停止運轉時應按下述步驟進行：

　　1）關閉高真空閥。

　　2） 如果在擴散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱，則在關閉高真空閥后，應使冷阱升溫，讓擴散泵抽走冷阱放出的氣體和蒸汽。冷阱升溫可采用自然升溫和用干燥氮氣吹液氮儲罐兩種方法。前者升溫時間較長，后者可使升溫時間大大縮短。

　　3）切斷擴散泵加熱電源。如有冷阱，可在冷阱溫度回升到0℃時，切斷擴散泵電源。

　　4）當擴散泵冷卻到50℃時，關閉前級閥，然后關掉機械泵，并立即向泵內放入大氣（可通過電磁放氣閥自動完成）。

　　5）關掉擴散泵的冷卻水。

　　6）在真空系統停止工作時，如無特殊要求，應將系統各元件保持在真空狀態下封存，但機械泵內應通大氣。